A félvezetőiparban a struktúracsökkentés kisebb, hatékonyabb, gyorsabb és olcsóbban gyártható integrált áramkörökhöz vezet. A mikroelektronika fejlődésével egyre nagyobbak az igények az ostyák tiszta és biztonságos szállításáért felelős kezelőrendszerekkel szemben. Egy testre szabott alkalmazásban az ACE 10 miniatűr lengéscsillapítója nyújt védelmet minden egyes lineáris tengelynek.

A fotolitográfia kulcsfontosságú technológia a mikroelektronikai alkatrészek és áramkörök gyártásában, valamint a mikrorendszerek előállításában. Ebben az eljárásban a szerkezeti mintát egy fotómaszkról egy fényérzékeny, fényérzékeny, vékony fotoreziszt rétegre viszik át a lapkán. A hibátlan gyártás biztosítása érdekében a tervezők a legnagyobb gondossággal végzik az automatizált folyamatok programozását és a folyamatok ellenőrzését. A mikroprocesszorok és memóriachipek iránti kereslet miatt, és mivel a megbízhatóság a wafergyártás során elsődleges fontosságú, sok chipgyártó a kezelőrendszerek területén házon belüli beszállítókkal dolgozik. Ezek túl nagy kockázat nélkül részt vehetnek a gyártási folyamatokban, és általában kiváló minőségű, bevált szabványos alkatrészekkel szerelik fel a hajtások, vezérlések és lineáris tengelyek terveit. Annak érdekében, hogy ez utóbbiakat a lehető legjobban biztosítsák a robusztus, mechanikus, áramfüggetlen, tiszta helyiségekben is használható gépelemek segítségével, az ACE Stoßdämpfer GmbH-val működik együtt. Az együttműködés másik fontos oka, hogy a langenfeldi vállalat a katalógustermékek széles választéka mellett egyedi megoldásokat is kínál. Az ACE tapasztalt mérnökcsapata ezeket pontosan a félvezetőgyártók követelményeihez igazítja azáltal, hogy minden egyes alkatrészt pontosan megtervez szoftver segítségével, majd az ACE tesztlaboratóriumában tesztel. Így az ügyfelekkel együtt biztosítják, hogy minden gyártási tengely hatékonyan védve legyen, hogy kizárják a kezelés során bekövetkező sérüléseket.

Tervezés, szimuláció, próbapad: hogyan alakítja az ACE a szabványos lengéscsillapítókat egyedi termékekké
Ahogy a cég neve is mutatja, az ACE egyik erőssége a lengéscsillapítási technológia. Az eredetileg az USA-ból származó gyártó közel 60 évvel ezelőtt elsőként hozott forgalomba állítható ipari lengéscsillapítókat. A vállalat, amely 2016 óta a STABILUS csoport tagja, olyan alkatrészeket is kínál a tervezőknek, mint például ipari gázrugók, forgásfékek, szorítóelemek és számos más megoldás többek között a rezgések leválasztására. Ebben az összefüggésben a kis- és ipari lengéscsillapítók az ACE központi üzleti területe maradtak, csakúgy, mint a biztonsági lengéscsillapítók. A termékekhez kapcsolódó egyedülálló know-how-t az évek során folyamatosan bővítették az USA-ban és Európában dolgozó fejlesztőmérnökök, hogy az ebben az alkalmazásban is az ügyfél által kívánt eredményt hozza.

A forgácsgyártáshoz a nagy pontosságú, súrlódásmentes tengelyeket az adott alkalmazásnak megfelelő kezelőrendszerbe építik be. A gyártó szerint X- és Y-tengelyeiket, akárcsak a középső pólus tengelyét (CP), csak a megengedett maximális erőkkel szabad terhelni ütközés esetén, hogy 100 százalékosan biztosítsák, hogy a teljes rendszer ne sérüljön meg. Ennek megfelelően ebben az alkalmazásban a három tengelyt az ACE kisméretű lengéscsillapítók kínálatából három különböző típussal kellett felszerelni. Az Y-tengelyhez négy M20-as menettel rendelkező kis lengéscsillapítót, az X-tengelyhez négyet, de M18-as menettel, a CP-tengelyhez pedig kettőt M25-ös menettel.

Az első lépésben az ACE az ügyféllel együttműködve meghatározta a megfelelő lengéscsillapítótípust mindhárom tengelyhez, amelynek meg kellett felelnie az ügyfél által megadott pontos specifikációknak. Ezenkívül az ACE mérnökeinek megadták a maximálisan tolerálható támasztóerőt ütközés esetén. Az Y-tengely esetében például a következő paramétereket bontották le egy-egy csillapítóra: Tömeg, m = 95,85 kg és sebesség, v = 1,08 m/s, ami 55,90 Nm mozgási energiának felel meg. Az e tengelyre megengedett legnagyobb támasztóerő 5700 Nm volt. Ezen információk alapján az ACE fejlesztési osztálya második lépésben szimulálta az említett elektromos hajtás tömegerőinek és sebességének figyelembe vehető kis lengéscsillapító típusok fúrási mintázatát. Amint az ábrán (3. ábra) látható, az energiát és a sebességet egyenletesen lehetett lassítani a teljes 14 mm-es lökethosszon, így a maximális támasztóerő kb. 5300 Nm értékre csökkent. Az ACE a másik két tengely mechanikai alkatrészek általi lehető legjobb védelmére vonatkozó előírt értékeket is teljesíteni tudta. A harmadik és egyben utolsó lépésben a szimulációs eredményeknek megfelelően egyedileg gyártott kis lengéscsillapítókat széles körű tesztelés után szállították le a csúcstechnológiai megrendelőnek. Ott az ACE 10 kis lengéscsillapítója azóta személyre szabott védelmet nyújt az ostyagyártásban használt mindegyik kezelőrendszer mindhárom mozgótengelyén.