A KIVOS koncepció

A KIVOS egy nagyon rugalmas, moduláris koncepció a plazmarendszerek számára. Ezek a rendszerek az alkalmazások széles skáláján használhatók, mint például a felületek finom tisztítása és aktiválása, reaktív ionmaratás (RIE) és bevonás (PECVD, PVD). A koncepció lehetővé teszi az AURION számára, hogy magasan fejlett termékeket állítson elő kedvező áron. Ezt az árelőnyt ügyfeleink is kihasználják. További előny, hogy egyetlen rendszer nagyon különböző alkalmazásokhoz használható.

A koncepció alapgondolata, hogy egy rendszer minél több alkatrésze könnyen cserélhető legyen. Ez azt jelenti, hogy mind egymás között, mind pedig új alkatrészekkel cserélhető, például egy új alkalmazáshoz.

Amint az alábbi vázlat mutatja, a technológiai kamra alapeleme egy kocka alakú rozsdamentes acélkeret. Erre a keretre hat, különböző funkciókat betöltő fémlemez (modul) van rögzítve. A modulok az alkalmazástól függően rozsdamentes acélból vagy alumíniumból készülnek.

Az összes modul azonos méreteinek köszönhetően (kocka alak !!!) nagy erőfeszítés nélkül cserélhetők egymással vagy más alkatrészekkel. Ez azt jelenti, hogy nem kell egy teljesen új technológiai kamrát vásárolni egy kissé eltérő alkalmazáshoz, amelyhez esetleg csak két új karimára vagy egy másik kamraajtóra van szükség. Bizonyos esetekben akár két vagy három modul egymásra cserélése is elegendő.