Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH gyártó Plazma klaszter rendszerek terméke
Az AURION személyre szabott többkamrás rendszereket kínál vákuum alatti szubsztrátkezeléssel. A rendelkezésre álló konfigurációk között vannak zárókamrák, transzferkamrák és folyamatmodulok a porlasztási és RIE eljárásokhoz.