Kérdés a termékről
A plazmát a felületkezelés számos feladatának megoldására használják, pl. bevonatolás, polimerek aktiválása, mikroelektronikai alkatrészek maratása és tisztítás. A felületek tisztítására jelenleg különböző plazma előállítási módszereket alkalmaznak: Rádiófrekvenciák (40 kHz és 13,56 MHz) és mikrohullámok. A tipikus gázkeverékek oxigént, argont és néha hidrogént és karbontetrafluoridot tartalmaznak.