Katalógus

Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

Vissza a listához

Aurion Anlagentechnik GmbH gyártó PECVD-bevonó berendezések terméke

Kérdés a termékről  

A plazmát a felületkezelés számos feladatának megoldására használják, pl. bevonatolás, polimerek aktiválása, mikroelektronikai alkatrészek maratása és tisztítás. A felületek tisztítására jelenleg különböző plazma előállítási módszereket alkalmaznak: Rádiófrekvenciák (40 kHz és 13,56 MHz) és mikrohullámok. A tipikus gázkeverékek oxigént, argont és néha hidrogént és karbontetrafluoridot tartalmaznak.

Kérdés a termékről