Aurion Anlagentechnik GmbH

Nagyfrekvenciás illesztő hálózatok

Alkalmazás
A PRODIK sorozat nagyfrekvenciás illesztőhálózatai a plazmaimpedancia teljesen automatikus illesztésére szolgálnak egy 13,56 MHz-es névleges frekvenciájú HF-generátor kimeneti impedanciájához. A különböző áramkörök lehetővé teszik a diódák, magnetron katódok és nagyméretű síkelektródák problémamentes és alacsony veszteségű illesztését PECVD és maratáshoz (mikroelektronika, kijelzőtechnika stb.).

A hálózatok (matchboxok) a legmagasabb folyamatstabilitásra vannak optimalizálva, és vezető mérési és ellenőrzési technológiát kínálnak. Ez optimális felhasználóbarátságot és a legjobb folyamatirányítást eredményez.

Hardver
Megalkuvást nem ismerő, kiváló minőségben gyártjuk a megfelelő hálózatainkat. A kiváló minőségű vákuum- és kerámiakondenzátorok, valamint a tömör rézből készült, ezüstözött vezető részek minden erősen igénybevett ponton garantálják a nagyfokú üzembiztonságot és reprodukálhatóságot. A házak alumíniumból készülnek, és minden fedél réz-berillium rugós érintkezővel rendelkezik. Ez rendkívül jó minőségű HF-árnyékolást biztosít, ugyanakkor lehetővé teszi, hogy az egységek néhány gyorskioldó rögzítőelem segítségével könnyen nyithatók és zárhatók legyenek.

Mérési technika
A Matchbox bemenetén egy rögzített kondenzátoron két feszültséget mérünk kapacitív feszültségosztókon keresztül. Ezeket alacsony csatolással tervezték, ami elnyomja a keresztbeszólásokat.

Az áramokat a feszültségkülönbségekből határozzák meg, kiküszöbölve az induktív csatolókkal végzett hibás egyenáramú méréseket.

A mért értékeket egy logaritmikus erősítő rögzíti. Ez a technológia a legnagyobb pontosságot teszi lehetővé maximális dinamikával.

A bemeneti impedanciák és (kisebb pontossággal) a terhelő impedanciák a mért adatokból kerülnek kiszámításra. Ebből egy vezérlő határozza meg a változó kondenzátorok optimális beállításait. A bemeneti és terhelési impedancia megjeleníthető vagy tovább feldolgozható a rendszer vezérlésén keresztül.

Továbbá a gyufásdoboz kimenetén mérik az egyenáramú előfeszítési potenciált, és egy plazmaérzékelő rendszer érzékeli, hogy a plazma begyulladt-e.
Vezérlési koncepció
A PRODIK sorozat innovatív szenzortechnológiával és modern CAN-busz technológiával, decentralizált intelligenciával győz.

Minden mérőjelet a mérés után azonnal A/D-konvertálnak, majd digitálisan és így interferencia vagy veszteség nélkül továbbítják a buszon keresztül.

A vákuumkondenzátorok motorhajtásai saját elektronikával (CUB) rendelkeznek a motorhajtókkal, a pozícióérzékeléssel és a CAN-interfésszel. A központi vezérlővel való kommunikáció közvetlenül pF-ben történő kalibrálást használ. Ez azt jelenti, hogy a teljes, előre kalibrált kondenzátoregység a meghajtóval együtt teljesen kicserélhető, anélkül, hogy bármilyen kalibrálási intézkedésre lenne szükség. Minden folyamatparaméter közvetlenül reprodukálható.

A központi vezérlő, az ASC, a CAN-busz mellett alapfelszereltségként RS232 interfésszel és Profibus interfésszel is rendelkezik.

Egy univerzális analóg/digitális interfészkártya (GCT) áll rendelkezésre egy HF-generátor integrálásához. ezen keresztül az ASC átveheti a HF-generátor teljes irányítását. Ez lehetővé teszi például a teljes HF-rendszer vezérlését, beleértve egy nem Profibus-képes generátort is, az ASC Profibus-interfészén keresztül.
Az AURION vezérlési koncepciójának sematikus ábrázolása
Az automatikus hangoláshoz, mint már említettük, 2 feszültséget mérünk a bemeneti fix kondenzátoron. A bemeneti impedanciát ebből számítják ki, ami viszont a kimeneti vagy terhelő impedanciát eredményezi, kissé csökkentett pontossággal. Opcionálisan lehetőség van e kimeneti impedancia közvetlen mérésére, és így a kapcsolt teljesítmény pontos szabályozására.

A terhelő impedancián keresztül meghatározható a reaktív teljesítmény, a kimeneti áram és más, a folyamat szempontjából fontos paraméterek.

Ezek lekérdezhetők, megjeleníthetők és kiértékelhetők az ETHOS konfigurációs szoftveren keresztül, vagy tovább feldolgozhatók a rendszer vezérlésével (pl. PLC).

A teljes modularizáció lehetővé teszi a vezérlési koncepció gyors és rugalmas, tisztán szoftveres támogatással történő, sokféle követelményhez való igazítását. A szoftverváltozatok például gyors ciklusidejű működéshez, másodperces porlasztási időkkel állnak rendelkezésre. Itt a klasszikus autotuning nem alkalmazható.

Az AURION technológia azonban lehetővé teszi, hogy a stabil, rövid porlasztási folyamatot a folyamatok közötti sodródás automatikus kompenzálásával kombináljuk, és így az összes előnyre szert tegyünk.

A PRODIK sorozat illesztési hálózatait az ügyfél üzemi követelményei szerint tervezik. Erre a célra különböző áramkörök állnak rendelkezésre